高精密主动减震平台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！

　　减振台采用减振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），主动减振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。减振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

　　高精密主动减震平台通常是使用三个串联的隔振器：倾斜运动隔振器在水平运动隔振器的顶部，水平隔振器在垂直隔振器的顶部。垂直运动隔振器如图1所示，它使用一个传统的弹簧，连接到一个由两个弯曲件组成的NSM上，两个弯曲件在它们的内端连接到弹簧上，并在它们的外端被支撑，并且通过力P被压缩加载。弹簧被重量W压缩，在高精密主动减震平台的工作位置上，如图1所示。高精密主动减震平台的刚度是K=KS-KN，其中KS是弹簧刚度，KN是负刚度的大小，负刚度是挠曲和载荷P设计的函数。当弹簧支撑重量W时，可以使隔振器的刚度趋于零。